Die Positioniergenauigkeit wird durch einen integrierten Wegmeßsensor auf Wirbelstrombasis erreicht, der über einen Regelkreis die Treiberspannung des Piezostapels steuert. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Zur Demonstration und nachfolgenden Vermessung der oben erwähnten Schaltfunktion mußte eine Glasplatte von 50mm Durchmesser mit einer Positioniergenauigkeit von 0,1µm über den Verstellweg von 200µm in Foliennähe verfahren werden. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Der Roboterarm, Roboter mit sieben Achsen der die Strahldüse führt, verfügt über sieben Achsen und kann deshalb auch komplizierte Bewegungen ausführen; seine Positioniergenauigkeit liegt bei einem zehntel Millimeter. (Quelle: Stuttgarter Zeitung 1995)
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