Der Charakter eines empirischen Substrats bleibt ihr aber darin erhalten, daß Beobachtung und Experiment, diese letzten Grundlagen alles empirischen Wissens, auch die Entwicklung des mathematischen Denkens in allen seinen Stadien begleiten. (Quelle: Projekt Gutenberg)
Alle 3 Metallisierungsstreifen befinden sich auf der Oberseite des Substrats. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Die Oberflächen-Mikromechanik geht aus von Sandwichstrukturen dünner Schichten, zum Beispiel aus Siliziumdioxid und polykristallinem Silizium, die auf die Oberfläche des Substrats aufgebracht werden. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
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