Herzstück des Thermometers ist eine nadelförmige Spitze aus Platin und Kohlenstoff, die an einem weichen Biegebalken befestigt ist. (Quelle: DIE WELT 2001)
Abbildung 4 zeigt einen resonanten mikromechanischen Kraftsensor auf Silizium-Basis, der aus drei beidseitig im Silizium-Bulkmaterial verankerten dünnen Biegebalken besteht8). (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
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