Bei mikrotechnischen Komponenten und Systemen sind im Gegensatz zur Planartechnik der Mikroelektronik auch dreidimensionale und bewegliche Mikrostrukturen herzustellen, wie zum Beispiel die in Abbildung 1 dargestellte Mikroturbine2). (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Neuerdings wird fast ausschließlich die Planartechnik verwendet, die sich nicht nur für diskrete, sondern auch besonders für integrierte Bauelemente der Mikroelektronik eignet. (Quelle: Schneider: Lexikon Informatik)
Die Planartechnik ist eine Aufbau- und Verbindungstechnik im Bereich der Hochleistungselektronik. (Quelle: Stuttgarter Zeitung 1996)
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