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Ionenätzen    Aussprache  加入生词本  
[das] 铣削。蚀刻。
ion milling, ion etching, sputter etching
  1. Um eine kostengünstige Herstellung zu gewährleisten, werden zur Herstellung nur Standardverfahren der Mikroelektronik verwendet, insbesondere die Plasmaabscheidung von Siliziumdioxid und Siliziumoxinitrid und das reaktive Ionenätzen. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)


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