ionengestützten

  1. In Vorbereitung der ionengestützten cBN-Abscheidung gelang es erstmals mit einem modifizierten Plasmamonitor die Energieverteilung von Neutralteilchen zu bestimmen, die von einem BN-Target beim Beschuß mit Argon-Ionen emittiert werden. ( Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)