Zusammensetzung aus dem Fluss Vils in Niederbayern und dem Berufsnamen Meier als Bezeichnung für einen Meier mit einem Hof nahe der Vils. In wenigen Fällen könnte auch der Fluss Vils in Schwaben (Zufluss zum Lech) oder die Vils in der Oberpfalz (Zufluss zur Naab) die namensgebende Komponente sein.